此種機型為雙晶衍射型高精度定向儀,操作簡便,強度較高,可用于壓電晶體、光學晶體以及各種單晶晶體材料的定向。
YX-300型:精度±15",數(shù)字顯示,最小讀數(shù)1"。
產品特點
ALL-700D嵌入式X射線定向儀為雙工作臺,右側工作臺在X射線下可測量8-12英寸硅單晶V槽定向檢測,晶棒最短100mm、最長700mm,配有工裝確保檢測V槽定向精度的準確性;左側工作臺在X射線下可測量4-12英寸硅棒參考面,硅片端面定向檢測晶棒最短100mm、最長700mm,設備配有腳輪方便移動。
該儀器針對藍寶石晶錠需對A、C、R、M向等多角度進行測量定向粘結而研發(fā)設計的,而且對硅單晶,砷化鎵等晶體角度均可測量定向粘結,不但解決了大尺寸晶體不能一機測量定向多角度的難題,而且綜合精度為±30″,確保晶體測量,定向粘結的準確性。是國內目前先進的機電光一體化的新產品。
該儀器上下升降系統(tǒng),前后上料系統(tǒng)及衍射測量系統(tǒng)均由步進電機驅動,操作簡單,先進的PLC程序穩(wěn)定可靠,故障率低可長時間連續(xù)無故障運行,多點傳感器限位裝置增加了穩(wěn)定性。設備的專用二維夾具調整范圍為±4度,可有效滿足300kg以內晶錠的粘接定向,操作者可以很容易調整出所測量定向的角度,特制對稱鎖緊裝置可避免切割或掏棒引起的夾具松動。360度旋轉復檢一鍵完成方便準確,有效的減輕了操作者的工作強度,從而減少了單件晶錠定向的時間,提高了生產率。
采用高精度歐姆龍編碼器記錄衍射角度,并通過觸摸屏顯示,同時也實時顯示回轉工作臺的旋轉角度。對多個角度可自動定向,減少人為誤差,提高檢測效率。
該儀器針對客戶提供藍寶石晶錠定角度進行測量定向粘結而研發(fā)設計的,解決了大尺寸晶體不能在普通定向儀上測量定向粘結的難題,保證了大尺寸晶體定向粘結的準確性。
該儀器上下升降系統(tǒng)及前后上料均由步進電機驅動,操作簡單,先進的PLC程序穩(wěn)定可靠,故障率低,可長時間連續(xù)無故障運行。設備的專用二維夾具調整范圍為±4度,可有效滿足200kg以內晶錠的粘接定向,操作者可以很容易調整出所測量定向的角度,特制對稱鎖緊裝置可避免切割或掏棒引起的夾具松動。360度旋轉復檢一鍵完成方便準確,有效的減輕了操作者的工作強度,從而減少了單件定向的時間。
該儀器采用了高端傳感器,可以自動限位,提高了晶體定向效率。
該儀器是我公司最新研制,嵌入式測角儀,全封閉的,利用X射線原理對晶體角度進行定向,掃描出峰位角。
該儀器為全封閉式雙工作臺,左側工作臺在X光下對(2~6)英寸藍寶石晶棒X軸定向,晶棒長度最短為20mm,利用導軌滑動在一塊料板上,粘結多塊晶棒;右側工作臺在X光下利用專用工具對(2~6)英寸藍寶石晶棒Y軸角度定向,然后將晶棒和夾具一起放到磨床進行參考面的玻璃面進行磨平、加工.儀器定向粘結精度±15"/30",最小讀數(shù)1",具有差值顯示功能。
該儀器為雙工作臺,左側工作臺在X光下定向粘結(2~6)英寸藍寶石晶棒,晶棒長度最短為20mm,利用導軌滑動在一塊料板上,粘結多塊晶棒;右側工作臺在X光下定向測量(2~6)英寸藍寶石晶棒晶片端面角度,儀器定向粘結精度±15"/30",最小讀數(shù)1"。
該儀器為全封閉式雙工作臺,左側工作臺在X光下定向粘結(2~6)英寸藍寶石晶棒,晶棒長度最短為20mm,利用導軌滑動在一塊料板上,粘結多塊晶棒;右側工作臺在X光下定向測量(2~6)英寸藍寶石晶棒晶片端面角度,儀器定向粘結精度±15"/30",最小讀數(shù)1",具有差值顯示功能。
此種機型為單晶衍射型普通精度定向儀,操作簡便,強度較高,可用于壓電晶體、光學晶體以及各種單晶晶體材料的定向。
YX-2C型:精度±30",數(shù)字顯示,最小讀數(shù)10"。
YX-2H8A 嵌入式晶體定向儀是我公司根據(jù)客戶生產工藝的需要而研發(fā)的新型雙工作臺定向儀,主要用于硅單晶藍寶石等晶體的角度測量,一側樣品臺采用V形槽設計,可為直徑2~8英寸長度500mm的晶棒做端面角度測量,另一側可做晶棒的OF面的角度測量,還可以測2~8英寸晶片端面角度測量,可測重量為1~50公斤,人性化的設計使設備更合理。
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