該儀器針對藍寶石晶錠需對A、C、R、M向等多角度進行測量定向粘結而研發(fā)設計的,而且對硅單晶,砷化鎵等晶體角度均可測量定向粘結,不但解決了大尺寸晶體不能一機測量定向多角度的難題,而且綜合精度為±30″,確保晶體測量,定向粘結的準確性。是國內(nèi)目前先進的機電光一體化的新產(chǎn)品。
該儀器上下升降系統(tǒng),前后上料系統(tǒng)及衍射測量系統(tǒng)均由步進電機驅動,操作簡單,先進的PLC程序穩(wěn)定可靠,故障率低可長時間連續(xù)無故障運行,多點傳感器限位裝置增加了穩(wěn)定性。設備的專用二維夾具調(diào)整范圍為±4度,可有效滿足300kg以內(nèi)晶錠的粘接定向,操作者可以很容易調(diào)整出所測量定向的角度,特制對稱鎖緊裝置可避免切割或掏棒引起的夾具松動。360度旋轉復檢一鍵完成方便準確,有效的減輕了操作者的工作強度,從而減少了單件晶錠定向的時間,提高了生產(chǎn)率。
采用高精度歐姆龍編碼器記錄衍射角度,并通過觸摸屏顯示,同時也實時顯示回轉工作臺的旋轉角度。對多個角度可自動定向,減少人為誤差,提高檢測效率。